納米硬度（HNT）對(duì)材料的壓入深度在50-1000nm，可用于有機(jī)無機(jī)材料（液體除外）和涂層材料的硬度評(píng)定。納米劃痕儀（NST）用于表征厚度小于1000 nm 的薄膜或涂層的附著力以及抗劃擦強(qiáng)度或抗擦傷性，分析有機(jī)涂層和無機(jī)涂層，硬質(zhì)涂層和軟性涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度，配有摩擦力傳感器

測(cè)量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術(shù) (nano-indentation)，由于采用納米壓痕技術(shù)可以在極小的尺寸范圍內(nèi)測(cè)試材料的力學(xué)性能，除了塑性性質(zhì)外，還可反映材料的彈性性質(zhì)，得到了越來越廣泛的應(yīng)用。

納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)（Depth-Sensing Indentation， DSI)，是最簡(jiǎn)單的測(cè)試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測(cè)量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。

硬度（hardness）是評(píng)價(jià)材料力學(xué)性能的一種簡(jiǎn)單、高效的手段，關(guān)于硬度的定義尚未統(tǒng)一。從作用形式上，可定義為“某物體抵抗因另一物體（場(chǎng)）作用而產(chǎn)生變形的能力的度量”；從變形機(jī)理上，可定義為“抵抗彈性變形、塑性變形和破壞的能力”或“材料抵抗殘余變形和破壞的能力”。硬度本身不是一個(gè)物理量，而是材料局部區(qū)域力學(xué)性能在特定條件下的整體表現(xiàn)。它是材料對(duì)外界物體機(jī)械作用（壓入或刻劃）的局部抵抗能力的一種表現(xiàn)。

又名：壓痕儀/硬度計(jì)/顯微鏡硬度計(jì)/超顯微硬度計(jì)/動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì)/納米硬度計(jì),是一種用于表征各種涂層、薄膜的機(jī)械性能、產(chǎn)品品質(zhì)，包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等，表征的材料幾乎包括所有類型的材料：柔軟、硬質(zhì)、脆性或延展性材料。

納米硬度使用場(chǎng)所

（1）半導(dǎo)體技術(shù)：保護(hù)層、金屬層等

（2）數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：磁盤保護(hù)涂層、圓盤基底上的磁性涂層、CD上的保護(hù)涂層等

（3）光學(xué)元件：光學(xué)抗劃涂層、接觸棱鏡

（4）裝飾涂層：蒸發(fā)金屬涂層

（5）抗磨損涂層：TiN、TiC、DLC、刀具、模具、手機(jī)外殼等

（6）藥理學(xué)：藥片和藥丸、植入器官、生物組織

（7）汽車：油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車片

（8）一般工程技術(shù)應(yīng)用：抗耐性橡膠、觸摸屏、潤(rùn)滑劑和潤(rùn)滑油、自潤(rùn)滑系統(tǒng)

（9）MEMS微電子領(lǐng)域等

根據(jù)總施加載荷的大小：

宏觀硬度（日本、美國和前蘇聯(lián)等定為10N以上，歐共體國家和國際機(jī)構(gòu)則定為2N以上）

顯微硬度（上限：10N或2N；下限：10mN左右）

納米硬度（一般在700mN以下，有的生產(chǎn)商為了便于研究者模擬顯微硬度，配有10N載荷附件。）

宏觀硬度和顯微硬度適用于較大尺寸的試樣，僅能得到材料的塑性性質(zhì)，隨著現(xiàn)代材料表面工程（氣相沉積、濺射、離子注入、高能束表面改性、熱噴涂等）、微電子、集成微光機(jī)電系統(tǒng)、生物和醫(yī)學(xué)材料的發(fā)展、試樣本身活表面改性層厚度越來越小，人們?cè)谠O(shè)計(jì)時(shí)不僅要了解材料的塑性性質(zhì)，更需要掌握材料的彈性性質(zhì)。傳統(tǒng)的硬度測(cè)量已無法滿足新材料研究的需要，納米硬度技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。

納米硬度計(jì)有兩種壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式，它是一種檢測(cè)材料微小體積內(nèi)力學(xué)性能的先進(jìn)測(cè)試儀器。由于壓痕或劃痕深度一般控制在微米甚至納米尺度，該儀器是進(jìn)行電子薄膜、各類涂層、材料表面及其該改性的力學(xué)性能檢測(cè)的理想手段。它不需要將表層從基體上剝離，可以直接給出材料表層力學(xué)性質(zhì)的空間分布，例如，能檢測(cè)出焊點(diǎn)及其附近材料的力學(xué)性質(zhì)。由于試樣準(zhǔn)備簡(jiǎn)單，材料達(dá)到可以用其他宏觀方法檢測(cè)，該方法仍然是一種可以選擇的方法。