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中是兩種微型壓力傳感器的膜片,圖中數(shù)字的單位為毫米。也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。工作原理編輯壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用ZUI為普遍。發(fā)展?fàn)顩r編輯1954年C.S.史密斯詳細(xì)研究了硅的壓阻效應(yīng),從此開始用硅制造壓力傳感器。早期的硅壓力傳感器是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)式的。后來在 N型硅片上定域擴(kuò)散P型雜質(zhì)形成電阻條,并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴(kuò)散型壓力傳感器。這兩種傳感器都同樣采用粘片結(jié)構(gòu),存在滯后和蠕變大、固有頻率低、不適于動(dòng)態(tài)測(cè)量以及難于小型化和集成化、精度不高等缺點(diǎn)。70年代以來制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴(kuò)散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結(jié)構(gòu)的固有缺陷,能將電阻條、補(bǔ)償電路和信號(hào)調(diào)整電路集成在一塊硅片上,甚至將微型處理器與傳感器集成在一起,制成智能傳感器(見單片微型計(jì)算機(jī))。這種新型傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動(dòng)態(tài)測(cè)量;②體積?。ɡ缬械漠a(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米),適于微型化;③精度高,可達(dá)0.1~0.01%;④靈敏高,比金屬應(yīng)變計(jì)高出很多倍,有些應(yīng)用場(chǎng)合可不加放大器;⑤無活動(dòng)部件,可靠性高,能工作于振動(dòng)、沖擊、腐蝕、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán)境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大(有時(shí)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償)、工藝較復(fù)雜和造**等。應(yīng)用編輯壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等

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供應(yīng)`SCAN`計(jì)數(shù)器SCM-31M SCM-41M SCM-51M SCM-61M SCB-42AM SCB-52AM 

SCB-62AM SCB-43AM SCB-56M SCB-46M

近接開關(guān)FCM2-0802P-A3U2、VL-L03MN-SX94U2、M18B-L3000N-CX9C4U2、FCM2-0802P-A3U2、F/PUR、F/PUR、F/PUR、FCM2-1808A-A3L2、M18B-L3000N-CX9C4V2、VL-L03MN-SX94U2、F、 

光電開關(guān)VL-L03MH-SX94U2、M18B-L3000N-CX9C4U2、VL-R500N-SX94U2、M18B-D0500N-CX9040

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