注冊機構在審核射頻美容儀的注冊申請時，對技術文件的具體要求包括以下幾個方面：

符合國家標準和行業規范：技術文件應符合國家和行業的相關標準和規范要求，確保技術內容準確、完整，符合規范。

規范的文件格式和文本排版：技術文件的格式和排版應規范、清晰，方便閱讀和理解。文件中的圖表、公式、符號等應符合相關標準要求。

詳細的技術描述：技術文件應對射頻美容儀的技術原理、設計、制造工藝等進行詳細的描述，包括技術規格、性能指標、安全性評估等。

符合實際制造情況：技術文件應與實際制造情況相符，包括原材料選擇、生產工藝、質量控制等方面的描述。

圖紙和表格的合規性：技術文件中涉及的圖紙和表格應符合相關標準和規范要求，包括圖形的精度、標注的規范性等。

文件內容的完整性：技術文件應完整，包括與產品相關的所有必要文件，如設計文件、制造工藝文件、質量控制文件等。

文件內容的準確性：技術文件中的數據和信息應準確、可靠，不得存在錯誤或遺漏的情況。

文件管理的規范性：技術文件的管理應規范，包括文件的編號、版本控制、審批流程等，確保文件的準確性和一致性。

注冊機構在審核過程中會對技術文件的準確性、完整性、規范性和實際制造情況進行詳細審查。確保技術文件能夠準確描述射頻美容儀的技術細節和生產制造過程，符合相關法規和標準要求。