氮化硅板材是一種陶瓷材料，主要成分為氮化硅（Si3N4）。它是一種靜電陶瓷，具有良好的耐熱性，可在高溫下長時間穩定運行。它還具有極好的機械強度和抗蝕性，在各種惡劣環境中都能保持良好的性能。

作為高溫固相擴散的基板材料，可用于生產高壓晶體管、功率MOSFET、IGBT等器件。在太陽能電池板的制造過程中，氮化硅板材也常被用作電池片的形成基板，其高熱傳導性能可有效提高太陽能電池的轉換效率。

在LED芯片生長過程中，需要通過外部基板提供支撐，而普通的材料難以滿足高溫和化學腐蝕的環境要求。氮化硅板材的高溫和耐蝕性，使其成為LED芯片生長的理想基板材料。