真空淬火，是指實現零件的光潔淬火。零件的淬火冷卻在真空爐內進行，淬火介質主要是氣(氣體)、水和真空淬火油等。真空淬火已大量應用于各種滲碳鋼、合金工具鋼、高速鋼和不銹鋼的淬火，以及各種時效合金、硬磁合金的固溶處理。 [1] 

真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體（如氮）進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立即送入淬火油槽，快速冷卻。如果需要高的表面質量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。

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