根據《互聯網宗教信息服務管理辦法》，申請互聯網宗教信息服務許可證的具體流程如下：

確定申請主體和受理機關：申請人為在中華人民共和國境內依法設立的法人組織或者非法人組織。全國性宗教團體及其舉辦的宗教院校從事互聯網宗教信息服務，應當向國家宗教事務局提出申請，其他申請人向所在地省、自治區、直轄市人民政府宗教事務部門提出申請。

準備申請材料：需填報互聯網宗教信息服務申請表，并提交申請人依法設立或者登記備案的材料以及法定代表人或者主要負責人身份證件；宗教信息審核人員參加宗教政策法規和相關宗教知識的教育培訓，以及具備審核能力的情況說明；互聯網宗教信息服務管理制度、信息安全管理制度和技術保障措施材料；用于從事互聯網宗教信息服務的場所、設施和資金情況說明；申請人及其法定代表人或者主要負責人近 3 年內無犯罪記錄和無違反國家宗教事務管理有關規定情況承諾書；擬從事互聯網宗教信息服務的欄目、功能設置和域名注冊相關材料。如果申請提供互聯網宗教信息傳播平臺服務，還應當提交平臺注冊用戶管理規章制度、用戶協議范本、投訴舉報處理機制等。

提交申請：申請人根據當地要求，選擇線上或線下方式提交申請材料。部分地區支持線上申報，可在當地政務服務網或指定平臺進行操作；也有地區需要線下提交紙質材料，具體方式可咨詢當地宗教事務部門。

審核：省級以上人民政府宗教事務部門自受理申請之日起 20 日內作出批準或者不予批準的決定。審核過程中，宗教事務部門可能會征求網信、公安等部門的意見，必要時可開展實地核查。

決定與領證：作出批準決定的，核發《互聯網宗教信息服務許可證》；作出不予批準決定的，應當書面通知申請人并說明理由。

后續手續：申請人取得《互聯網宗教信息服務許可證》后，還應當按照國家互聯網信息服務管理有關規定辦理相關手續。